在全球集成电路制造产能持续紧张的背景下，近两年我国集成电路相关领域的投资显著增加。
这种背景下，半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造投资额的大幅增长，这一趋势也带动了对PEEK材料需求的上升。
在半导体产业中，PEEK材料制成的CMP保持环和晶圆盒越来越受到关注，并得到了广泛应用。
PEEK材质晶圆盒的优势
而中研股份本次推出的四款PEEK产品，便是晶圆盒的理想选择。
Part1产品介绍
中研股份专为晶圆盒这一特定应用场景研发了这款产品。自2021年推出第一代晶圆盒产品以来，公司研发团队持续专注于技术创新，成果显著。
目前，中研股份的晶圆盒专用产品包括 310WA251 、310WA252、310WA253 和 310WA254 四个牌号。
其防静电性、易加工性和外观上均有卓越表现。
Part2产品优势
1卓越的防静电性能
目前晶圆盒专用产品的表面电阻率可达 - 。也可根据客户需求，达到客户需求的防静电等级。
2测试认证评估
已通过禁用物质（如RoHS、REACH等）测试，也通过了金属离子和表面阴阳离子测试。
3良好的加工性能
在加工性能方面，晶圆盒专用料继承了中研股份PEEK产品易加工的特点，表现同样优秀，适用于晶圆盒注塑成型加工 。
4良好的尺寸稳定性
晶圆的尺寸是固定的，产线是高度自动化，晶圆要装载到晶圆载具中时，需要晶圆盒的内部齿形部分的尺寸是稳定的，少许的偏差会导致晶圆损坏。并且在高低温循环后依然能够保证尺寸稳定。
因此，晶圆盒的尺寸稳定性至关重要。
5良好的注塑外观
晶圆载具外观光滑平整，没有明显的花纹和流痕。
Part3产品工艺
我们的晶圆盒产品使用“溶液-研磨-高速”分散工艺：
溶液分散能使助剂均匀附着于PEEK表面，增强PEEK的表面活性；
研磨分散能使导电剂与PEEK紧密贴合，使产品的电性能更加稳定；最后通过高速分散使填料与各组分均匀分散，保证产品质量稳定性和一致性。
Part4产品详解
以下为四款PEEK晶圆盒专用产品介绍。
310WA251
应用领域：主要用于初代晶圆盒，已经稳定量产。
表面电阻率：10⁴- 10⁶。
310WA252
应用领域：针对新一代晶圆盒的创新之作，代表了市场上新一代的防静电产品，已经通过了客户的验证阶段，目前为主推型号。
表面电阻率：可稳定在10⁶ -10^9 。定制化：可根据客户需求调整表面电阻率，提供定制化服务。
310WA253
客户定制款
310WA254
表面电阻率：10^5-10^9 ，具有更宽的应用范围。外观：产品外观鲜亮，加工后的晶圆盒光滑平整，无明显花纹和流痕。
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